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國內(nèi)首臺晶圓自動翻轉(zhuǎn)倒片機成功應(yīng)用 IC產(chǎn)業(yè)關(guān)鍵自動化裝備實現(xiàn)國產(chǎn)

2019-12-20 08:05:18

據(jù)北京日報,晶圓倒片機是用來調(diào)整集成電路產(chǎn)線上晶圓生產(chǎn)材料序列位置的一款設(shè)備,它的任務(wù)是將產(chǎn)線上的晶圓通過制程需要進(jìn)行分批、合并、翻轉(zhuǎn)后進(jìn)行下一道程序,這就要求晶圓倒片機擁有極高的傳送效率和潔凈程度。近日,北京京儀自動化裝備技術(shù)有限公司經(jīng)過多年探索,成功研發(fā)出國內(nèi)首臺晶圓自動翻轉(zhuǎn)倒片機,破解了國產(chǎn)晶圓自動翻轉(zhuǎn)倒片機自動化難題。

責(zé)編 張弩

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